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使用性能要求
1.可用于对不同形状尺寸的基片进行喷胶.喷胶尺寸要求达到8寸。 2.可对不同粘度的胶进行喷涂,供胶分辨率在15uL以内。 3.可对大深宽比结构进行侧壁涂胶,得到厚度均匀的胶膜。 4.喷胶均匀性要求:单片表面≤±15%,片间为≤±10%。 5.计算机系统控制工艺参数。 6.可手动卸载基片。 7.喷胶室易清洗。 8.供胶流速和流量可编程。 9供胶回吸量可调节。 10.适用于所有光刻胶和聚合物。 11.具有自动针管式胶液供给系统,可调节压力控制及测量胶量,并具有胶液回吸功能。 12.基片可对准。





PID温控器
PID控温仪表主要是控制储胶桶的温度,只要把热熔胶的电源开关切换至ON的位置,此控温仪表即刻执行加热系统线路的检查,一切正常后PID控温仪表即以数字显示储胶桶实际温度。
以下为控温仪表的个显示功能说明:
1、“PV”温度显示:
表示目前储胶桶的温度。
2、“SV”设定稳定确定指示:
按下“?”按键后,“SV”发光二极管闪烁,等待操作者设定储胶桶的设定温度。重按温度设定钮,即恢复控温仪表的正常操作。
3、“OUT1”加温确认指示灯:
当加热系统进行加热的时候,此发光二极管常亮。
4、“AT”自动运算发光二极管:
PID控温仪表依胶桶内热熔胶的多少,自动运算,此时“AT”保持常亮。而后进行操作时,PID控温仪表不再自动运算,立乐胶机广东,而“AT”熄灭。
5、“AL1”警报确认发光二极管:
当系统的实际温度超出设定的上限或下限的范围时,则LED屏上显示“AL1”发光二极管会闪烁,否则会熄灭。
6、“?”设定键:
按下此键后,“SV”发光二极管保持闪烁;再以“设定值按键”来设定储胶桶的温度,再按“SET”便完成设定。
7、“SET”功能转换按键:
重复按下此键时,依序会显示以下各种功能状态,并且可以利用“设定值按键”重新设定。(见图4-3)
以下为其各功能状态的说明:
①自动演算设定:
设定YES时,PID仪表进行自动演算功能。设定ON时,则PID仪表不进行。
②上、下限温度的设定:
设定所需温度的上、下限温度范围,当实际温度达到设定温度与所设的上下限温度范围内即为正常温度。
8、设定值按键:
加热系统预设定的各个数值,立乐胶机,皆由此按键输入.“▲”加键。“▼”为减少键。
全自动喷胶机的软件架构
喷胶机软件从架构上分,主要由三部分组成:底层软件、控制工艺实现及用户界面。 底层软件实现I/O的定义设置、逻辑设置,4个运动轴的起始速度、加速度、运行速度、回机械原点模式等参数的配置,便于调试硬件。同时还提供丰富的函数方便上层软件调用,立乐胶机58H,使得在上层软件设计时可以专注于喷胶功能实现。 控制工艺层根据喷胶轨迹及预设的参数配置,自动执行控制工艺。 用户界面层用于人机交互,在示教时、编辑预设参数时及人工单步运行操作时,直接操作机器,以便于保证自动运行能顺利执行。同时还提供各种异常状况的提示,以方便诊断机器故障。折叠
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